4.4. Waferfertigung, Bonden und Verkappen history menue Letztmalig dran rumgefummelt: 04.02.08 13:19:32

Hierbei werden auf der Oberfläche der Siliziumscheibe durch Belichten, Ätzen, Aufdampfen und Fremddotierung gezielt die benötigten Transistoren und Leitungsbahnen aufgebracht. Das geschieht in Form eines Waffelmusters auf der Siliziumscheibe.

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Logo für die Waferfertigung

inhaltlich auf korrektem Stand - evtl. partiell unvollständig ;-)

Wissen für Fortgeschrittene der Informatik

Informatik-Profi-Wissen

  1. Technoliogieabhängige Wafer
2. Ausbeute und Wirtschaftlichkeit
3. Waferfertigung
4. Verwandte Themen

1. Technologieabhängige Wafer history menue scroll up
CMOS-Strukturen sind günstiger zu fertigen, da weniger Fertigungsschritte notwendig sind und die Strukturen nicht zuletzt wegen der extrem kleinen Leistungsaufnahme klein gehalten werden können. So werden heute faktisch alle wichtigen und hochkomplexen Schaltkreise in eben dieser Technologie gefertigt.

Wafervergleich

300 mm-Fertigungsbereich

Chipstrukturen

Wafer im Ofenprozess

Reinstraum-Transportbehälter FOUP

Reinstraum

Chemische Behandlung der 200 mm-Wafer

Waferbeschickung zur Ionenimplantation

Operator im Reinstraum

Wafer und RAM-Modul

FOUP - Front Opening Unified Pod

Konfektionierter Infineon-Chip

Wafer-Prüffeld

300 mm-Produktionslinie

 

2. Ausbeute und Wirtschaftlichkeit history menue scroll up

 
alle Siliziumscheiben durchlaufen gleiche Prozesse - es ist also sehr bedeutsam, möglichst viele Chips auf einer Scheibe unterzubringen - deshalb das Bestreben nach immer größeren Scheibendurchmessern
Ausbeuten von 30 % gelten immer noch als wirtschaftlich
gefertigt werden nicht Modellreihen, sondern Ausmessklassen - das ist nur ein Spitzentyp und in den folgenden Prüfstrecken werden Selektionen vorgenommen


3. Waferfertigung history menue scroll up
Die Waferfertigung ist streng in den fotolithografischen Prozess eingebunden - sie ist der fotolithografische Prozess als technologische Organisationsform.

Waferfertigung


4. Verwandte Themen history menue scroll up
Der Waferfertigung sind schon zwei entscheidende Prozesse vorangegangen:



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© Samuel-von-Pufendorf-Gymnasium Flöha © Frank Rost im Juli 2004

... dieser Text wurde nach den Regeln irgendeiner Rechtschreibreform verfasst - ich hab' irgendwann einmal beschlossen, an diesem Zirkus nicht mehr teilzunehmen ;-)

„Dieses Land braucht eine Steuerreform, dieses Land braucht eine Rentenreform - wir schreiben Schiffahrt mit drei „f“!“

Diddi Hallervorden, dt. Komiker und Kabarettist

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